Keramika iz aluminijevega oksida in keramika iz silicijevega karbida imata fizikalne lastnosti, kot so kompaktnost, visoka trdota in visoka odpornost proti obrabi, kot tudi dobro toplotno odpornost, odlično mehansko trdnost, dobro izolacijo in dobro odpornost proti koroziji v okoljih z visoko temperaturo itd. je odličen material za izdelavo robotskih rok polprevodniške opreme.Z vidika lastnosti materiala je keramika iz silicijevega karbida bolj primerna za izdelavo keramičnih manipulatorjev, toda z vidika ekonomskih vidikov, kot sta cena materiala in težavnost obdelave, so keramični manipulatorji iz aluminijevega oksida stroškovno učinkovitejši.
Čas objave: 13. februarja 2024